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荏原、半導体製造向け精密チラーRJ-SA型を発表

荏原製作所は、半導体製造プロセスにおける精密チラーRJ-SA型を発表。2022年1月の発売を目指している。

［ 2021/11/08 月曜日 18:22 機械・部品］

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