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三菱マテリアル、「拡散防止膜用W-Tiスパッタリングターゲット」を開発・量産開始

96958A9E808182E6EAE4E2EAE08DE0E7E2E5E0E2E3EAE2E2E2E2E2E2-DSXZZO3337603025072018000000-PB1-1.jpg 　三菱マテリアルの電子材料事業カンパニーは、半導体ファインピッチプロセスに対応した拡散防止膜用W-Ti(タングステンーチタン)スパッタリングターゲットを開発。7月から量産を開始した。

［ 2018/07/25 水曜日 21:33 製造全般］

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［製造全般］三菱マテリアル、「拡散防止膜用W-Tiスパッタリングターゲット」を開発・量産開始 2018/07/25 水曜日

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