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SCREENセミコンダクターソリューションズ、枚葉式洗浄装置「SU-3300」を発売

0421708_01.pngSCREENセミコンダクターソリューションズはこのほど、世界最高水準となる処理能力と、独自の洗浄処理技術を備えた半導体ウエハーの枚葉式洗浄装置「SU-3300」を開発。9月から販売を開始する。


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