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　【上海（中国）２００９年３月１７日】　半導体装置ベンチャー企業のＡＣＭリサーチ上海（ＡＣＭ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｓｈａｎｇｈａｉ, Ｌｔｄ.）は本日、６５ ｎｍ以下の技術ノードに適した高度な洗浄を実現するＵｌｔｒａ Ｃ(TM) １２インチ枚葉式メガソニック洗浄ツールをセミコンチャイナ会場で発表しました。ＡＣＭの特許技術により、ウェーハ全体にわたってメガソニックエネルギーを正確かつ均一的に制御することによって（１σで２％）、パターン付きウェーハを損なうことなく、最高９９.２％という高い粒子除去効率（ＰＲＥ）を実現することができます。

　今日の半導体洗浄技術で最も大きな問題のひとつに、この業界におけるデバイスノードの縮小に伴う機械的損傷ならびに不良の抑制があります。６５ ｎｍ未満では、ゲートとキャパシターの構造がますます脆弱になります。デバイスの機構が小型化するにつれて致命的な粒子の直径も小さくなるため、洗浄も困難になります。機構の小型化による構造的な損傷の危険は大きな問題となっており、結果的にはプロセスウィンドウが絶えず縮小していくことになります。

　ＡＣＭ リサーチの創業者でもあるＤａｖｉｄ Ｗａｎｇ最高経営責任者（ＣＥＯ）は次のようにコメントしています。「この業界では、メガソニック洗浄が洗浄作業の最も致命的な問題の多くに対する長期的な解決策といわれてきたのに、これまで機械的なプロセスウィンドウを制御することができた会社はありません。当社のＵｌｔｒａ Ｃ洗浄装置は、希釈したＳＣ１洗浄液を使った場合は９９.２％以上、脱イオン水（純水）だけ使った場合は９８.３％という高い粒子除去効率（ＰＲＥ）を持つダメージレスメガソニック洗浄を実現するのに十分なメガソニックパワーと均一性の制御に、業界で初めて成功しました。」

　ＡＣＭの特許技術であるスペース・オールタネイティッド・フェーズ・シフト（ＳＡＰＳ）メガソニック技術は、ウェーハ内（ｗｉｔｈｉｎ ｗａｆｅｒ, ＷＩＷ）ならびにウェーハ間（ｗａｆｅｒ-ｔｏ-ｗａｆｅｒ, ＷＴＷ）で均一性が非常に高いメガソニックパワー密度を実現し、現在市場に出ている他社製の枚葉式メガソニック洗浄ツールでは１０～２０％にも上る不均一性をわずか２％未満に抑制します。

　メガソニックパワーが効果的である理由は、このプロセスで生じるキャビテーション（気泡の発生）が粒子の除去とその表面への浮上に役立つからです。ここで重要な点は、メガソニックエネルギーの機械的プロセスウィンドウをうまく制御することによって、キャビテーションを生じるのに十分なエネルギーを発生させながら、パターン付きウェーハに損傷を与えない程度に抑えることです。

　損傷を与えることなく高いＰＲＥを実現するプロセスウィンドウは非常に狭いので、ウェーハ全体にわたってエネルギー分布の高い均一性を実現することが非常に重要になります。メガソニックパワーの分布が均一でないと、そこだけメガソニックエネルギーが高い「ホットスポット」がウェーハ上に形成され、気泡が崩壊する原因となります。メガソニック気泡が崩壊すると、高温（最高４０００℃）・高圧（１０００気圧）の「マイクロジェット」を放出し、脆弱なウェーハ構造をすぐに傷つけてしまいます。

　ＡＣＭのＳＡＰＳメガソニック技術では「安定キャビテーション気泡振動」法（ｓｔａｂｌｅ ｃａｖｉｔａｔｉｏｎ ｂｕｂｂｌｅ ｏｓｃｉｌｌａｔｉｏｎ ｍｅｔｈｏｄ）を採用することによって、気泡が崩壊することなく膨張、縮小を続けられるようにしました。ＳＡＰＳによって、ごく均一的なエネルギー分布によるダメージレスメガソニック洗浄が実現し（１σで２％）、粒子除去効率を最適化することができます。

　ＡＣＭではすでに脱イオン水（ＤＩＷ、純水）だけを使った場合で９８.３％という高いＰＲＥを実証していますが、Ｕｌｔｒａ Ｃには、それぞれ調整可能な分離性と再利用性がある最大５種類の洗浄液を同時に使えるという柔軟性もあります。

　▽ＡＣＭリサーチについて
　１９９８ 年に米国のシリコンバレーで創業したＡＣＭリサーチは、ストレスのない銅研磨技術（Ｕｌｔｒａ ＳＦＰ(TM)）ならびに銅メッキ技術（Ｕｌｔｒａ ＥＣＰ(TM)）を専門としています。ＡＣＭは２００６年９月に上海ベンチャーとの合弁による子会社「ＡＣＭ上海」を設立して、その拠点をアジアに移しました。上海の湛江（Ｚｈａｎｇｊｉａｎｇ）ハイテクパークにある同社は、そこで研究開発、設計、製造、マーケティング、営業、サービスを行っています。ＡＣＭはストレスフリー銅研磨装置（ＳＦＰ）や銅メッキ装置（ＥＣＰ）などのウェットプロセス装置ならびに枚葉式メガソニック洗浄ツールの専門メーカーです。国際特許申請件数が１００を超える強力なＩＰポートフォリオを擁し、６０以上はすでに特許取得済みです。ＡＣＭは、信頼性の高い高度な技術ソリューション、低いＣＯＯ（所有コスト）、世界一流の製品、サービス、設計技術を顧客に提供しています。

［ 2009.03.20 金曜日 10:10   機械・設備・業務用 ］

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