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米ＳＶＴＣ、300mmＣＭＰでＥｎｔｒｅｐｉｘと提携
ニュースリリース|ＳＶＴＣ|
ＳＶＴＣ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ(ｗｗｗ．ｓｖｔｃ．ｃｏｍ)(以下ＳＶＴＣ)は、Ｔｅｘａｓ州ＡｕｓｔｉｎにあるＳＶＴＣの工場でツールアクセスプログラム(以下ＴＡＰ)を利用するお客様に対し、半導体製造において非常に重要なプロセスであるＣＭＰの３００ｍｍウェハに対応した開発及び生産サービスをＥｎｔｒｅｐｉｘ Ｉｎｃ．(ｗｗｗ．ｅｎｔｒｅｐｉｘ．ｃｏｍ)(以下Ｅｎｔｒｅｐｉｘ)にアウトソーシングすることを、2月3日発表した。
ＳＶＴＣの事業開発副社長；Ｄａｖｅ Ａｎｄｅｒｓｏｎによると、この提携により、最先端の環境下における一連のプロセス機器及び測定機器を有するＳＶＴＣと、豊富なＣＭＰエンジニアリングと製造の経験を持つＥｎｔｒｅｐｉｘの、両社各々の強みを活用することが可能となった。
今回の契約により、３００ｍｍＴＡＰプログラムのＣＭＰ加工、技術サポート及びお客様窓口は全て、ＳＶＴＣにて Ｅｎｔｒｅｐｉｘのエンジニアリングチームが担当し、Ａｒｉｚｏｎａ州ＴｅｍｐｅのＥｎｔｒｅｐｉｘの工場で行っているアウトソーシングモデルと同様のサービスを提供する。
ＥｎｔｒｅｐｉｘのＣＥＯ；Ｔｉｍ Ｔｏｂｉｎによると、ＥｎｔｒｅｐｉｘのＣＭＰ ＦａｓｔＦｏｒｗａｒｄ製品・サービス群は、コスト削減、開発期間及び投資回収期間の短縮を目的として開発されており、ＣＭＰアウトソーシングの明確なメリットがＡｒｉｚｏｎａ州Ｔｅｍｐｅ工場で実証されている。ＳＶＴＣとパートナーシップを結ぶことにより、同様のメリットを３００ｍｍの最先端工場でも受けることが可能となる。
▽急成長するＣＭＰアウトソーシング市場
半導体デバイス・材料メーカにとって、社内リソースが縮小傾向にある一方で、最優先課題はコスト削減や次世代製品の開発であることに変わりはなく、ＣＭＰアウトソーシングのニーズは高まっている。市場調査会社Ｌａｒｅｄｏ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓの最新ＣＭＰ市場予測によると、２０１０年までにＣＭＰ材料の全市場は１７億ドル以上、３００ｍｍウエハのウエハ研磨回数は６億回以上である。複雑なＣＭＰプロセスをアウトソーシングすることにより、メーカは、社内開発で必要となる多額の費用及び時間的負担を軽減でき、かつ専門的知識・プロセスの活用が容易になる。
ＳＶＴＣは、ＴＡＰを利用するお客様のために、次のものをコアＣＭＰ技術として、Ｅｎｔｒｅｐｉｘにアウトソースする；実験計画とサポート、完璧なプロジェクト管理とその実行、データ分析とその解釈、報告、ならびに量産試作。加えて、お客様は、リソグラフィ、エッチング、ＣＭＰ，洗浄、コーティング及び測定を含む２００以上のツールが、利用可能となる。
“ＳｅｍｉＱｕｅｓｔの最新３００ｍｍＣＭＰパッドの開発に、ＳＶＴＣ の最先端３００ｍｍ ＣＭＰ ＴＡＰを使っている”と、消耗品サプライヤのＳｅｍｉＱｕｅｓｔ社社長、Ｒａｊｅｅ Ｂａｊａｊ， ＰｈＤが明らかにした。“彼らのサービスに付随する測定やサポートは、当社の技術習得サイクルを短縮し、コスト節減に役立った。このパートナーシップが、ＳｅｍｉＱｕｅｓｔのビジネス成功を可能にしてくれると期待している”。ＳｅｍｉＱｕｅｓｔの製品であるｅＳＱ Ｐｌａｎａｒｉｚｅｒは、エッジダイ変動効果（ｅｄｇｅ ｄｉｅ ｖａｒｉａｔｉｏｎ ｅｆｆｅｃｔ）を解消し、ウエハに低圧力を均一にかける能力が大きく向上するとともに、腐食や誘電損失の低減にも役立っている。これは、ｋ値が２．２近辺の材料の歩留改善に大きく役立つ、と考えられる。
“最先端ＣＭＰスラリーの設計開発に、ＳＶＴＣの３００ｍｍ ＣＭＰ ＴＡＰ並びに、Ｅｎｔｒｅｐｉｘのファンドリ及び装置サービスを活用している”、また、“本契約による強力なコンビネーションにより、当社が市場に最適なソリューションを提供できることを期待している“と、電子研磨製品のリーディングカンパニーであるＤｕｐｏｎｔ Ａｉｒ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ ＮａｎｏＭａｔｅｒｉａｌｓのマーケティング・ビジネス開発部門副社長；Ａｊｏｙ Ｚｕｔｓｈｉはコメントした。
▽Ｅｎｔｒｅｐｉｘ概要
Ｅｎｔｒｅｐｉｘは、ＣＭＰ及び関連プロセスのアウトソーシング、装置サービスの主要プロバイダです。Ａｒｉｚｏｎａ州ＴｅｍｐｅのＩＳＯ９００１-２０００認定工場にてＩＤＭ、ＯＥＭ、ＭＥＭＳ、ナノテクノロジー及び消耗部材サプライヤ向けに、製造、エンジニアリング、技術開発サービスを提供しています。また、お客様の社内プロセス立上げのために、ＣＭＰ及び測定装置、アプリケーション、スペア部品のご提供を含めたフィールドサービスを実施しています。初期導入から最適化まで、試験生産から量産まで、プロセス及び装置まで含めたトータルＣＭＰソリューションを提供いたします。詳細はｗｗｗ．ｅｎｔｒｅｐｉｘ．ｃｏｍをご参照ください。
▽ＳＶＴＣ概要
ＳＶＴＣは、独立系の主要半導体開発機関で、革新的な半導体関連技術及び製品を迅速に、高い費用対効果で、知的財産権を保護しつつ機密裏に、開発、商品化までを可能にします。ＡＴＤＦを吸収したことにより、フルスケールの８インチ及び１２インチのプロセス能力と最新型ＣＭＯＳ装置、開発支援ツール、商品化サービスを含む、より強固な一連の最新装置及びサービスをご提供できるようになりました。ＳＶＴＣのＣａｌｉｆｏｒｎｉａ州Ｓａｎ Ｊｏｓｅ工場と元ＡＴＤＦのＴｅｘａｓ州Ａｕｓｔｉｎ工場の両工場にて、卓越したオペレーションを行い、投資回収期間をより短くいたします。また、ＭＥＭＳ/ＭＯＥＭＳ， 太陽電池、バイオテクノロジー、次世代メモリ及び高耐圧アプリケーションなど急成長する市場に対し、お客様が実際に製造準備の整った環境で製品づくりができるよう支援いたします。ＳＶＴＣは機会均等雇用者です。詳細は、ｗｗｗ．ｓｖｔｃ．ｃｏｍをご参照下さい。
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- 米ＳＶＴＣ、300mmＣＭＰでＥｎｔｒｅｐｉｘと提携 2009.02.04 水曜日 nejinews
