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セミコン・ジャパン2010 旭サナックが太陽電池やFPDの洗浄システム等を提案
【ねじ・ネジ・業界紙】
旭サナック出展小間 半導体装置や部品材料に関連する国際展示会「セミコン・ジャパン2010」(SEMI主催)が12月1~3日、千葉市美浜区の幕張メッセで開催された。本紙関係では、旭サナック(株)(本社愛知県尾張旭市。甘利昌彦社長)のNC事業部が出展参加し、洗浄関連の製品と技術をアピールした。
旭サナックはNC事業部が出展参加し、太陽電池やFPD、半導体の洗浄からパターニング工程までをトータルサポートする洗浄搬送ライン「CLEANING SYSYTEM」や新型HPMJ超高圧マイクロジェットポンプ「MJH」シリーズ、次世代半導体デバイス洗浄用「回転霧化型二流体ノズル」、超高圧マイクロジェット洗浄システム(HPMJ)」等を、提案事例を交えて紹介した。
第2169号3面
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- セミコン・ジャパン2010 旭サナックが太陽電池やFPDの洗浄システム等を提案 -- 2010/12/28 火曜日